PRODUCT
CREATIVE, CHALLENGE & BEST YOUR MIND
Nano Imprint
Substrate 위에 약액(PR, Resin)을 Slit 방식으로 Coating하는 장치로서
약액(PR, Resin)을 절감하고 우수한 Uniformity 구현
- 장치 특성
저점도, 고점도 약액(PR, Resin) Coating 가능
우수한 Coating Uniformity (≤ 3%)
Edge Off-set 조절 가능
다양한 Applications (LCD, OLED, LGP…..)
- 장치 구성
Chuck Table Module
Slit Nozzle Module
Linear Stage Module
Chemical Supply Module
Roll to Roll 방식으로 연속적인 공정 진행
- 장치 특성
대면적 기판 적용 (≤ 75 inch)
Good Pattern Property (Pressing 압력 및 속도 조절)
UV 광량에 따른 경화 조절
- 장치 구성
Chuck Table Module
구동 Rollers (Press, Rewind 등)
Roll Soft-mold
UV-LED Module
Substrate에 약액(PR, Resin) Coating 후, CDA Blowing을 이용하여 박막에 남아있는 휘발성분 제거
- 장치 특성
Particle Free (8단의 각 Slot이 구분, Filter 장착)
우수한 휘발성분 제거 (≥ 95%, ≤ 2min.)
Gate Door의 Open/Close 방식
Imprinting 후 형성된 Pattern을 Infrared 이용하여 경화
- 장치 특성
Infrared Temp. (≤ 200℃)
Transfer Speed (800 ~ 4,800mm/min.)
- 장치 구성
Loader Module
Transfer Module
IR Module
Cooling Module
Best Value Your Mind
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17118
Dangharo 113-5, Namsa-myeon, Cheoin-gu, Yongin-si, Gyeonggi-do, Korea
Tel : 070-7777-1301
Fax : 031-321-3068