PRODUCT
CREATIVE, CHALLENGE & BEST YOUR MIND
Nano Imprint
本设备采用Slit法在Substrate上Coating树脂(PR, Resin),可节省树脂(PR, Resin)用量,具有良好的Uniformity
- 设备特点
可使用低粘度、高粘度树脂(PR, Resin) Coating
具有良好的Coating Uniformity (≤ 3%)
Edge Off-set可调
多种Applications (LCD, OLED, LGP…..)
- 设备构成
Chuck Table Module
Slit Nozzle Module
Linear Stage Module
Chemical Supply Module
采用Roll to Roll方式实现工艺的连续性
- 设备特点
适用于大面积基板(≤ 75 inch)
Good Pattern Property (Pressing压力及速度调节)
根据UV光的光量来调节固化
- 设备构成
Chuck Table Module
驱动Rollers (Press、Rewind等)
Roll Soft-mold
UV-LED Module
在Substrate上Coating树脂(PR, Resin)后,可用CDA Blowing去除薄膜上残留的挥发性成分
- 设备特点
Particle Free (对8档的各Slot进行分类,安装Filter)
可有效去除挥发性成分(≥ 95%, ≤ 2min)
Gate Door的Open/Close方式
- 设备介绍
Imprinting后形成的Pattern可通过Infrared进行固化。
- 设备特点
Infrared Temp. (≤ 200℃)
Transfer Speed (800 ~ 4,800mm/min.)
- 设备构成
Loader Module
Transfer Module
IR Module
Cooling Module
Best Value Your Mind
地址 : 京畿道龙仁市处仁区南四面堂下路113-5号
Dangharo 113-5, Namsa-myeon, Cheoin-gu, Yongin-si, Gyeonggi-do, Korea
电话 : 82-70-7777-1301
传真 : 82-31-321-3068