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Nano Imprint

 ▣  Nano Imprinting Technology

- 在Substrate上面形成细微的纹理来实现大面积。
- 用同样特性的树脂来行程纹理。
- 高透光率及采用一体形的构造附着力优秀。
- 最小可以实现到Å单位。  

 ▣  Nano Imprinting Equipments

1) Spinless Coater
- 设备介绍

本设备采用Slit法在Substrate上Coating树脂(PR, Resin)，可节省树脂(PR, Resin)用量，具有良好的Uniformity

 

- 设备特点

可使用低粘度、高粘度树脂(PR, Resin) Coating
具有良好的Coating Uniformity (≤ 3%)
Edge Off-set可调
多种Applications (LCD, OLED, LGP…..)


- 设备构成

Chuck Table Module
Slit Nozzle Module
Linear Stage Module
Chemical Supply Module

2) Imprinter

- 设备介绍

采用Roll to Roll方式实现工艺的连续性


- 设备特点

适用于大面积基板(≤ 75 inch)
Good Pattern Property (Pressing压力及速度调节)
根据UV光的光量来调节固化


- 设备构成

Chuck Table Module
驱动Rollers (Press、Rewind等)
Roll Soft-mold
UV-LED Module

3) Buffer Cassette

- 设备介绍

在Substrate上Coating树脂(PR, Resin)后，可用CDA Blowing去除薄膜上残留的挥发性成分


- 设备特点

Particle Free (对8档的各Slot进行分类，安装Filter)
可有效去除挥发性成分(≥ 95%, ≤ 2min)
Gate Door的Open/Close方式


4) IR Curing

- 设备介绍

Imprinting后形成的Pattern可通过Infrared进行固化。


- 设备特点

Infrared Temp. (≤ 200℃)
Transfer Speed (800 ~ 4,800mm/min.)


- 设备构成

Loader Module
Transfer Module
IR Module
Cooling Module  

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